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SK Hynix lokalisiert Neongas für die Halbleiterproduktion

Jun 05, 2023

SK Hynix gab am 5. Oktober bekannt, dass es Neongas, einen wesentlichen Rohstoff für die Halbleiterproduktion, zum ersten Mal bei koreanischen Unternehmen lokalisiert hat.

Das Unternehmen plant, den Einsatz von lokalisiertem Neongas bis 2024 auf 100 Prozent zu steigern.

SK Hynix erklärte, dass es in Zusammenarbeit mit TEMC, das Gase für die Halbleiterproduktion produziert, und POSCO einen Weg gefunden hat, Neongas herzustellen. Bisher waren koreanische Halbleiterunternehmen in den letzten Jahren ausschließlich auf importiertes Neon angewiesen. Aufgrund der instabilen Lage in wichtigen Produktionsregionen in Übersee besteht seit einigen Jahren die Gefahr einer Instabilität der Neongasversorgung.

Durch die Zusammenarbeit mit TEMC und POSCO entwickelte SK Hynix eine Methode zur kostengünstigen Herstellung von Neon unter Nutzung vorhandener Anlagen.

Neon ist das Hauptmaterial für Excimer-Lasergas, das in einem Halbleiterlithographieprozess verwendet wird. Excimer-Lasergas erzeugt einen Excimer-Laser, der ultraviolettes Licht mit einer sehr kurzen Wellenlänge ist. Mit dem Excimer-Laser wird ein feiner Schaltkreis auf einen Wafer graviert. Obwohl Neon 95 Prozent des Excimer-Lasergases ausmacht, ist es mit nur 0,00182 Prozent in der Luft eine seltene Ressource.

Neongas wird von POSCO produziert und von TEMC verarbeitet, bevor es an SK Hynix geliefert wird.

SK Hynix führte im April dieses Jahres selbst angebautes Neon in seinen Halbleiterlithographieprozess ein. Das Unternehmen hat 40 Prozent seines Neonverbrauchs durch im Inland hergestelltes Neon ersetzt und plant, diesen Anteil bis 2024 auf 100 Prozent zu steigern.

Michael Herh